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wafer mount设备改造升级

发表日期：2019-05-23 12:37 文章编辑：admin 浏览次数：

　wafer mount设备改造升级，修改安川机器人及欧姆龙PLC程序，增加人工放晶圆歪斜导致停机后，防止回原点时机器人损坏晶圆的保护功能。

标签：wafer mount,设备改造,安川机器人

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